월간 데이콘 반도체 박막 두께 분석 경진대회

배경 자료

반도체 박막은 얇은 반도체 막으로 박막의 종류와 두께는 반도체 소자의 특성을 결정짓는 중요한 요소 중 하나입니다. 박막의 두께를 측정하는 방법으로 반사율 측정이 널리 사용되며 반사율은 입사광 세기에 대한 반사광 세기의 비율로 정해집니다. (반사율 = 반사광/입사광) 반사율은 빛의 파장에 따라 변하며 파장에 따른 반사율의 분포를 반사율 스펙트럼이라고 합니다. 

구조 설명

이번 대회에서 분석할 소자는 질화규소(layer_1)/이산화규소(layer_2)/질화규소(layer_3)/이산화규소(layer_4)/규소(기판) 총 5층 구조로 되어 있습니다. 대회의 목적은 기판인 규소를 제외한 layer_1 ~ layer_4의 두께를 예측하는 것으로 train.csv 파일에는 각 층의 두께와 반사율 스펙트럼이 포함되어 있습니다. 

데이터 설명

train.csv 파일에는 4층 박막의 두께와 파장에 따른 반사율 스펙트럼이 주어집니다. 헤더의 이름에 따라 layer_1 ~ 4는 해당 박막의 두께,

0~225은 빛의 파장에 해당하는 반사율이 됩니다. 헤더 이름인 0~225은 파장을 뜻하며 비식별화 처리가 되어있어 실제 값과는 다릅니다.