월간 데이콘 반도체 박막 두께 분석 경진대회

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데이터 분석해본 것을 공유하고 싶어서 올립니다.

2020.01.28 20:19 11,438 조회

그냥 공부하다가 알게된 것을 공유하고 싶어서 올리게 되었습니다.



           aa(반사율), bb(비식별화된 0~225 데이터)


         위의 그래프는 layer1,2,3,4=(10,10,10,10)일 때를 기준으로 R을 이용하여 그래프를 그려본 결과입니다.

                    



        위 그래프는 이론적 결과를 그래프로 그린 것입니다.  https://www.filmetrics.kr/ 이 사이트에서 그려볼 수 있습니다.

  

        똑같이 두께를 10,10,10,10 으로 두고 그렸습니다. 입사각은 모르기 때문에 걍 수직(0도)으로 집어넣을 때를 생각했습니다.


       노이즈를 제외하면 거의 유사한 그래프가 나옵니다.


      


        그렇다면 다른 두께를 선택하여 그려보겠습니다.



          다음은 layer1,2,3,4=(10,10,170,90)으로 그래프를 그려보았습니다.





이론값 그래프를 그려본 결과입니다.



이론값과 데이콘에서 주어진 결과를 비교해본 결과 비식별화된 0~225는 대략 800nm~300nm 사이의 값이지 않을까 생각됩니다.



비식별화된 0이 800nm쯤이고, 비식별화된 225가 300nm쯤 될 것이라 생각합니다.



                                            


            (출처: https://www.jvac.co.kr/blank-11/gisuljaryo/jeibeg-daceung-bagmagyi-bansayul)



           대충 다층 박막은 각 층의 굴절률, 두께에 의한 행렬로 표현 가능하고, 각 층의 행렬들을 곱해줘서 얻은 결과를 이용한 것이


           반사율과 관련된다는 의미입니다. (위 식에서 R이 반사율입니다.)


           여기서 제가 느낀 것은 반사율은 박막 두께와 굴절률이 잘 버무러진 결과라고 생각합니다. 그렇다면 '굴절률의 변화가 적은


           파장 대를 사용하면 두께 변화만을 볼 수 있지않을까?' 라는 생각을 했습니다.



        

질화규소의 파장에 따른 굴절률 변화입니다. ( y축이 굴절률, x축이 파장입니다.)


파장 500nm~800nm대에서 굴절률은 변화가 없습니다.




  위는 산화규소의 굴절률 변화입니다. 얘는 y축 스케일 때문에 변화가 커보이지만 300nm~800nm에서는 0.05정도의 변화만 있습니다. 질화규소의 경우 500~800nm에서 0.02 정도 변화합니다.



그래서 질화규소 두께 변화는 500~800nm 사이로 학습시키고, 산화규소는 300~800nm에서 학습시키자는 생각을 했습니다.


근데 귀찮고 하는 방법도 몰라서 그렇게 안했습니다.








그냥 레이어만 쌓고 노드만 추가하는 제 자신이 답답해서 한번 올려보았습니다.



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제루스챈스
2020.01.28 22:33

대박 자료 감사합니다 ㅎㅎ 올려주신 자료를 보니 0~255는 300-800nm 사이인 것으로 보이네요. 
두개 데이터를 같이 놓고 그려보면 비식별화된 파장을 찾을 수 있을꺼 같고 파장을 알면 말씀하신대로 파장을 나눠서 학습하는게 가능할 듯 싶습니다.
근데 순서가 반대고 데이터 간격이 달라서 0~255는 파장의 역수인 것 같아요.
이제 몇일 안남았는데 저도 이거 보고 열심히 해봐야겠네요

당쇠
2020.01.29 07:59

좋은 자료 감사합니다.